SNW2023 in 2023 Symposium on VLSI Technology and Circuits

講演情報

Poster session

Poster session

[P] Poster session

2023年6月11日(日) 17:00 〜 18:30 Room P (Shunjyu II)

[P-09] Improved Switching behaviors of MFM Capacitor with Reduced Ec and Enhanced Pr-V Linearity by Using La-Al co-doped HfO2 Ferroelectric layer

*Xujin Song1, Haolin Li1, Zhuohua Tang1, Peng Huang1, Xiaoyan Liu1, Jinfeng Kang1 (1. Peking Univ. (China))

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