[P] Poster session

[P-24] Phosphorus Deactivation and Electron Mobility Enhancement in Ultrathin Silicon Nanosheets

*Michele Perego¹, Andrea Pulici^1,2, Stefano Kuschlan^1,3, Gabriele Seguini¹, Fabiana Taglietti², Marco Fanciulli^2,1, Riccardo Chiarcos³, Michele Laus³ (1. CNR-IMM Unit of Agrate (Italy), 2. Università degli Studi di Milano-Bicocca (Italy), 3. Università del Piemonte Orientale ‘‘A. Avogadro’’ (Italy))