[A-6] VLSI設計技術

[A-6-4] Routing for Spacer-Is-Metal type Self-Aligned Double Patterning using CSP

^○田中洸樹, 長倉光輝, 藤吉邦洋 (東京農工大)

Keywords:SIM型側壁ダブルパターニング、配線設計、CSP、SAT

LSIを微細加工するためのパターニング技術として用いられているSIM型側壁ダブルパターニングは、幅一定の環状領域から配線を切り出すため配線設計が難しい．この問題において、入力の端子位置が配線可能であるか否か、またどのような端子位置の場合に配線不可能であるかを知るために、比較的小さな問題に対して、CSP(与えられた制約を全て満たす解を探索する問題)をSAT(与えられた命題論理式を満たす値の組合せが存在するか否かを判定する問題)に変換するSAT型制約ソルバを用いる．そして、配線不可能な入力の傾向及びどのくらいのサイズまで実用時間で計算できるかを調査する．