[C-13] 有機エレクトロニクス

[C-13-3] Fabrication of thin-film humidity sensors with CNT/polyimide composite thin film

^○伊東栄次, 井口丞太郎 (信州大)

Keywords:カーボンナノチューブ、ポリイミド、メニスカス法、撥水性、抵抗式センサ

ガス透過性に優れた撥水性の多層カーボンナノチューブ（MWCNT)と含フッ素ポリイミドの複合体からなる薄膜抵抗体の電気抵抗の湿度応答や温度依存性を調べた．水の拡散モデルに基づくと感湿層を薄膜化するほど水分子の浸透時間が短縮し高速応答が期待できる．縦型の容量式湿度センサの電極にも展開できる同薄膜の湿度や温度に対する応答を調べ，用途に応じた複合体薄膜の作製方法や，製膜法と湿度に対する応答の変化の検討を議論した．複合体の抵抗は相対湿度の増加に対して直線的に増加した．