[C-14] マイクロ波テラヘルツ光電子技術

[C-14-13] Sub-THz Waveguide Devices Fabricated using UV Curable Resin Type 3D Printer, RECILS

^○湯本潤司, 添田建太郎, 長沼和則, 山口義紀, 小西邦昭, 田丸博晴, 三尾典克, 伊藤弘 (東大)

Keywords:導波管、サブTHz、3Dプリンタ、めっき、バンドパスフィルタ

UV硬化樹脂型３Dプリンタと無電解めっきの組み合わせによって、サブTHz帯電磁波の導波管を作製した。使用した3DプリンタRECILSは、最大造形サイズ100×100×80mm3、解像度20～30μm を特徴としている。RECILSで造形した樹脂製中空構造（0.86× 0.43× 25.4mm3）の表面に無電解ニッケル及び無電解銅めっき膜を形成し、導波管とした。RECILS製導波管の200～400GHzでの挿入損失は0.5～1.0dBで、また、バンドパスフィルタも作製し、この特性も金属製導波管とほぼ同じであった。