[C-3/4-42] 異種光アレイ素子の簡易アライメント実装手法の検討
キーワード：面発光レーザ
我々は2次元の拡張性に優れる面発光レーザ（VCSEL）の高速化とアレイ化によるテラビット級トランシーバの開発を目指している．
本研究では，コンタクト露光のアライメント手法を応用した簡易な基板吸着式のアライメント実装手法を提案し，検討した．
本研究では，コンタクト露光のアライメント手法を応用した簡易な基板吸着式のアライメント実装手法を提案し，検討した．
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