[C-6] 電子部品・材料

[C-6-2] AZO/Cu/Ag/Cu/AZO多層型透明導電膜における特性改善

^○永田哲平¹, 吉川音々¹, 吉村幸雄², 新田敦司¹ (1.鹿児島高専, 2.鹿児島県工技セ)

この講演は本会「学術奨励賞受賞候補者」の資格対象です。

キーワード：AZO、フレキシブル、透明導電膜

近年，透明導電性酸化物(TCO)を用いたフレキシブルな透明導電膜が注目されており，TCOのなかで酸化インジウムスズ(ITO)が多く用いられている．しかし，ITOには希少金属であるインジウム(In)が含まれているため安定供給に問題がある．著者らはITOの代替材料としてAl doped ZnO (AZO)に着目しAZO/Ag/AZO 構造の透明導電膜の成膜を行った．これまでの研究で，Agの酸化及び拡散が薄膜の特性に影響を与えていることがわかった．そこでAgの酸化及び拡散を抑制するために，Ag層の下部に中間層としてCu層を挿入したところ特性が向上した. また，Cu層を上部に挿入した場合でも同様に特性が向上した．本研究では， Ag層の両側にそれぞれCu層を挿入したAZO/Cu/Ag/Cu/AZO構造の透明導電膜を成膜し特性改善を目指した．