[C-6] 電子部品・材料

[C-6-4] Magneto-impedance Effects for NiFeMo Thin Films Fabricated on Polyimide Substrates

^○望月航介, 芦澤好人, 中川活二, 今池健 (日大)

この講演は本会「学術奨励賞受賞候補者」の資格対象です。

Keywords:磁気センサ、磁気インピーダンス効果、フレキシブルエレクトロニクス

基板に高い柔軟性を持たせたフレキシブル磁気インピーダンス(MI)センサは,センサ素子を曲げると磁気弾性効果により,曲率によって磁界検出感度が変化することが報告されている.本研究は,フレキシブルMIセンサの磁気弾性効果による磁気特性の変化を抑制することを目的とし,曲率による特性評価の前段階として,曲げ応力を印加していない状態におけるポリイミド基板および石英基板上に作製したNiFeMo薄膜のMI効果を比較した.