〇Yuji Yamamoto¹, Wei-Chen Wen¹, Bernd Tillack^1,2 (1. IHP - Leibniz Inst. for High Performance Microelectronics (Germany), 2. Technische Universität Berlin (Germany))

〇Wei-Chen Wen¹, Bernd Tillack^1,2, Yuji Yamamoto¹ (1. IHP - Leibniz Inst. for High Performance Microelectronics (Germany), 2. Technische Universität Berlin (Germany))

〇Koki Nozawa¹, Takeshi Nishida¹, Takashi Suemasu¹, Kaoru Toko¹ (1. Univ. of Tsukuba (Japan))

〇Yusei Shirai¹, Hirokazu Tatsuoka¹, Yosuke Shimura^1,2,3 (1. Univ. of Shizuoka (Japan), 2. RIE Shizuoka Univ. (Japan), 3. imec (Belgium))

〇Kazuaki Fujimoto¹ (1. Nagoya Univ. (Japan))

〇Tatsuki Oiwa¹, Shigehisa Shibayama¹, Mitsuo Sakashita¹, Masashi Kurosawa¹, Osamu Nakatsuka^1,2 (1. Nagoya Univ. (Japan), 2. IMaSS, Nagoya Univ. (Japan))