チョクラルスキー法を用いた単結晶Si引上中のボディ部における晶癖線検出法の研究

Presentation information

Short Oral Session

Thu. Jun 9, 2022 3:15 PM - 3:45 PM MAIN HALL ( ANNEX HALL 2F＋ONLINE)

3:39 PM - 3:40 PM

*久保田雄斗¹、栗原徹¹、西原雄太² (1. 高知工科大学、2. 株式会社エム・セテック)

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