MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作（第5報）ーMEMSデバイスの試作－１ー
触覚：デバイス
指に装着して皮膚に密着でき、かつ指の動きを妨げない大きさで、3次元空間で自由に使用できる触覚デバイスを検討している。提示部分には、高速でかつ大きな力を生成可能な圧電―カンチレバー方式を採用し、人間の2点弁別閾に近い距離で刺激が生成でき、指の大きさより少し大きいくらいの大きさの触覚生成デバイスを設計した。本報告はMEMS技術を用いて試作し、製造が可能であることを確認した。

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