Proceedings of the International Display Workshops Volume 27 (IDW '20)

2020年12月9日〜 2020年12月11日
Virtual Conference

16:10 〜 18:10

[FMCp3-1] Influence of Hollow Cathode Gradient Diffuser in PE-CVD for SiO2 on Performance and Reliability of IGZO TFTs

*Yuhao Zhai¹ (1. TCL China Star Optoelectronic Technology Co., Ltd(China))

HCG diffuser, high mobility, stability

https://doi.org/10.36463/idw.2020.0301

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