[B-5-4] Gettering of Copper in Ion-Beam Damaged Regions in GaP and GaAs

W. Frentrup、M. Griepentrog、H. Klose、U. Muller-Jahreis (1.Sektion Physik, Humboldt-Universitat zu Berlin)

https://doi.org/10.7567/SSDM.1984.B-5-4