[A-3-5] Suppression of Storage Node Contact Distortion for Gigabit-Scale DRAM with COB Structure

D. H. Kim, H. Jeoung, H. S. Kim, J. H. Park, K. H. Yeom, S. Y. Kim, J. M. Park, T. K. Kim, J. S. Kim, D. K. Park, Y. J. PARK, J. W. PARK (1.Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2000.A-3-5