2002 International Conference on Solid State Devices and Materials
2002年9月17日 〜 2002年9月19日 Nagoya Congress Center, Nagoya, Japan
[F-3-2] On-Chip Variable Inductor Using MEMS Technology
Yoshisato Yokoyama、Takashi Fukushige、Seiichi Hata、Kazuya Masu、Akira Shimokohbe (1.Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology)
