GeO Desorption Mechanism from GeO<sub>2</sub>/Ge Stack Determined by <sup>73</sup>Ge Labeling Technique in Thermal Desorption Spectroscopy (TDS) Analysis

2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

2010年9月21日〜 2010年9月24日
The University of Tokyo, Tokyo, Japan

S. K. Wang¹、K. Kita^1,2、T. Nishimura^1,2、K. Nagashio^1,2、A. Toriumi^1,2 (1.Univ. of Tokyo、2.JST-CREST , Japan)