Dopant/carrier profiling in nanostructures.

W. Vandervorst; P. Eyben; A. Schulze; J. Mody; S. Koelling; A. Kambham; M. Gilbert

doi:https://doi.org/10.7567/SSDM.2010.B-7-1

2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

2010年9月21日〜 2010年9月24日
The University of Tokyo, Tokyo, Japan

[B-7-1] Dopant/carrier profiling in nanostructures.

W. Vandervorst^1,2、P. Eyben¹、A. Schulze^1,2、J. Mody^1,2、S. Koelling^1,2、A. Kambham^1,2、M. Gilbert¹ (1.IMEC、2.Instituut voor Kern- en Stralingsfysica , Belgium)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2010.B-7-1

▲