MIM Capacitors with Stacked TiO2/Y2O3 Insulator Featuring High Capacitance Density and Low Leakage Current

2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

2010年9月21日〜 2010年9月24日
The University of Tokyo, Tokyo, Japan

C. C. Lin¹、Y. C. Hu¹、L. L. Chen¹、M. L. Wu¹、J. R. Wu¹、Y. H. Wu¹ (1.National Tsing Hua Univ. , Taiwan)