[D-7-1] Extremely Thin SOI (ETSOI) - a Planar CMOS Technology for System-on-chip Applications

K. Cheng¹, A. Khakifirooz¹, P. Kulkarni¹, S. Ponoth¹, B. Haran¹, A. Kumar¹, T. Adam¹, A. Reznicek¹, N. Loubet², H. He¹, J. Kuss¹, M. Wang¹, T. M. Levin¹, F. Monsieur², Q. Liu², R. Sreenivasan¹, J. Cai¹, A. Kimball¹, S. Mehta¹, S. Luning³, Y. Zhu¹, Z. Zhu¹, T. Yamamoto⁴, A. Bryant¹, C. H. Lin¹, S. Naczas¹, H. Jagannathan¹, L. F. Edge¹, S. Allegret-Maret², A. Dube¹, S. Kanakasabapathy¹, S. Schmitz¹, A. Inada⁴, S. Seo¹, M. Raymond³, Z. Zhang¹, A. Yagishita⁵, J. Demarest¹, J. Li¹, M. Hopstaken¹, N. Berliner¹, A. Upham¹, R. Johnson¹, S. Holmes¹, T. Standaert¹, M. Smalley¹, N. Zamdmer¹, Z. Ren¹, T. Nagumo⁴, T. Wu, H. Bu, V. Paruchuri, D. Sadana, V. Narayanan, W. Haensch, J. O'Neill, T. Hook, M. Khare, G. Shahidi, B. Doris¹ (1.IBM, 2.STMicroelectronics, 3.GLOBALFOUNDRIES, 4.Renesas, 5.Toshiba , USA)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2011.D-7-1