[F-7-2] Investigation of Forming and Its Controllability in Novel HfO₂-Based 1T1R 40nm-Crossbar RRAM Cells

B. Govoreanu¹, S. Kubicek¹, G. Kar¹, Y. Y. Chen^1,2, V. Paraschiv¹, M. Rakowski^1,2, R. Degraeve¹, L. Goux¹, S. Clima¹, N. Jossart¹, C. Adelmann¹, O. Richard¹, T. Raes¹, D. Vangoidsenhoven¹, T. Vandeweye¹, H. Tielens¹, K. Kellens¹, K. Devriendt¹, N. Heylen¹, S. Brus¹, B. Verbrugge¹, L. Pantisano¹, H. Bender¹, G. Pourtois¹, J. A. Kittl¹, D. J. Wouters^1,2, L. Altimime¹, M. Jurczak¹ (1.imec, 2.Katholieke Univ. Leuven , Belgium)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2011.F-7-2