Fermi Level Depinning for Metal/Germanium Schottky Junction by CF<sub>4</sub> Plasma Treatment

2011 International Conference on Solid State Devices and Materials

2011年9月27日〜 2011年9月30日
Aichi Industry & Labor Center (WINC AICHI), Nagoya, Japan

J. R. Wu¹、C. Y. Hou¹、M. L. Wu¹、C. C. Lin¹、L. L. Chen¹、Y. H. Wu¹ (1.National Tsing Hua Univ. , Taiwan)