[P-2-13] Low-Energy Ion-Beam-Assisted Sputtering for Si Nanocrystals

C. Y. Hsiao¹, K. W. Su¹, K. T. Hung¹, H. T. Wu¹, H. J. Chen¹, S. W. Fu¹, S. H. Wu¹, C. F. Shih¹ (1.National Cheng Kung Univ. , Taiwan)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2011.P-2-13