Photon Energy Dependence of Low-Temperature Crystallization of a-Ge and a-Si<sub>0.5</sub>Ge<sub>0.5</sub> Films by Soft X-ray Irradiation

2013 International Conference on Solid State Devices and Materials

2013年9月24日〜 2013年9月27日
Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan

F. Kusakabe¹、Y. Maruyama¹、A. Heya¹、N. Matsuo¹、K. Kanda²、S. Miyamoto²、S. Amano²、T. Mochizuki² (1.Univ.of Hyogo、2.LASTI,Univ.of Hyogo (Japan))