Soft X-ray Crystallization of Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub> Multilayer Films

2014 International Conference on Solid State Devices and Materials

2014年9月8日〜 2014年9月11日
Tsukuba International Congress Center (EPOCHAL TSUKUBA), Ibaraki, Japan

A. Heya¹、F. Kusakabe¹、N. Matsuo¹、K. Kanda²、T. Motizuki²、M. Takahashi³、K. Ito³ (1.Univ. of Hyogo、2.LASTI, Univ. of Hyogo、3.Osaka Univ. (Japan))