[PS-2-18L] Radio Frequency Characteristics in Tantalum Nitride Thin Film Resistor ○S. H. Kwon1, M. Nam1, A. Kim1, K. Kang1, S. J. Chae1, S. J. Lee1, W. S. Sul2, S. G. Pyo1 (1.Chung-Ang Univ., 2.NNFC(Korea)) https://doi.org/10.7567/SSDM.2015.PS-2-18L