Strong Impact of Slight Misalignment of the Trench Direction from [11-20] on Deep Trench Filling Epitaxy for SiC Super-junction (SJ) Devices

2016 International Conference on Solid State Devices and Materials

2016年9月26日〜 2016年9月29日
Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan

11:42 〜 11:45

^○R. Kosugi¹, S. Ji¹, K. Mochizuki¹, H. Kouketsu¹, Y. Kawada¹, H. Fujisawa¹, K. Kojima¹, S. Yoshida¹, Y. Yonezawa¹, H. Okumura¹ (1.AIST(Japan))