2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
2016年9月26日 〜 2016年9月29日 Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
11:00 〜 11:03
[PS-2-01] A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System
○T. Konishi1, D. Yamane2, H. Ito2, S. Dosho2, N. Ishihara2, H. Toshiyoshi3, K. Masu2, K. Machida1 (1.NTT Advanced Tech. Corp.(Japan), 2.Tokyo Tech(Japan), 3.Univ. of Tokyo(Japan))
