2016 International Conference on Solid State Devices and Materials

2016年9月26日〜 2016年9月29日
Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan

11:30 〜 11:33

[PS-6-11] High-Performance Thin-Film Transistors with ZnO/Al₂O₃ Superlattice Channel by Atomic Layer Deposition

^○G. D. Cui¹, D. D. Han¹, J. C. Dong¹, Y. Y. Cong¹, X. M. Zhang¹, H. J. Li¹, W. Yu¹, S. D. Zhang¹, X. Zhang¹, Y. Wang¹ (1.Peking Univ.(China))

Tweet