2016 International Conference on Solid State Devices and Materials

2016年9月26日〜 2016年9月29日
Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan

11:33 〜 11:36

[PS-6-12] Room-temperature Fabrication of Amorphous IGZO TFTs with Co-sputtered Zr_xSi_1-xO₂ Gate Dielectrics

P. Y. Liu¹, S. J. Wang¹, C. H. Hung¹, C. H. Wu², N. S. Wu¹,^○H. P. Yan¹, T. H. Lin¹ (1.National Cheng Kung Univ.(Taiwan), 2.Chung Hua Univ.(Taiwan))

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