2016 International Conference on Solid State Devices and Materials
2016年9月26日 〜 2016年9月29日 Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
11:06 〜 11:09
[PS-7-03] Passivation Effect of Ozone Water Treatment of InGaN/GaN Nanostructures Fabricated by Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE)
○K. Ogawa1, T. Mizutani1, S. Ishijima1, Y. Namae1, A. Matsuoka1, A. Kikuchi1,2 (1.Sophia Univ.(Japan), 2.Sophia Nanotech. Res. Center(Japan))
