Preparation of IGZO Thin Layer by a Low-temperature Non-vacuum Technique

2016 International Conference on Solid State Devices and Materials

2016年9月26日〜 2016年9月29日
Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan

11:30 〜 11:33

^○E. K. C. Pradeep¹, G. T. Dang¹, M. Ohtani¹, K. Kobiro¹, T. Kawaharamura¹ (1.Kochi Univ. of Tech.(Japan))