2018 International Conference on Solid State Devices and Materials

2018年9月9日〜 2018年9月13日
University of Tokyo

16:47 〜 16:48

[PS-10-18 (Late News)] Impacts of doped element on ferroelectric phase stabilization in HfO₂ through non-equilibrium PDA

^○Y. Mori¹, T. Nishimura¹, T. Yajima¹, S. Migita², A. Toriumi¹ (1.Univ. of Tokyo (Japan), 2.AIST (Japan))

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