2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月12日(木) 09:00 〜 12:00 A29 (6A-204)

11:00 〜 11:15

[12a-A29-8] パネル上高感度フォトセンサ応用へのBLDAによる多層膜構造Si膜の結晶性向上

Nakao Kota1、〇(M2)Koswaththage Charith Jayanada1、Wakasugi Tomohide1、Okada Tatsuya1、Noguchi Takashi1 (1.琉球大学)

キーワード:光センサー、BLDA、結晶化