[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-10] 希ガス混合下における電界電離イオン種の混在比の電界依存性

〇小牧 啓介¹、永井 滋一^{1, 2}、岩田 達夫^{1, 2}、梶原 和夫^{1, 2}、畑 浩一^{1, 2} (1.三重大院工, 2.三重大極限ナノエレセ)

キーワード：電界イオン顕微鏡法、電界イオン化