[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-11] 走査型ヘリウムイオン顕微鏡を用いた電圧印加時のコンデンサの電位分布オペランド計測

〇酒井 智香子¹、石田 暢之¹、増田 秀樹¹、永野 聖子¹、藤田 大介¹ (1.物材機構)

キーワード：ヘリウムイオン顕微鏡