[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-7] 低真空下におけるArクラスターイオンビームの輸送特性

〇鈴木 敢士¹、瀬木 利夫¹、青木 学聡¹、松尾 二郎¹ (1.京大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、二次イオン質量分析