[14p-C1-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[14p-C1-4] イオン液体EMIM-DCAイオンビームのスパッタリング特性

〇星出 優輝¹、竹内 光明¹、龍頭 啓充¹、高岡 義寛¹ (1.京大光電子教育研究セ)

キーワード：イオン液体