14:00 〜 14:30 [16p-Z12-3] [プラズマエレクトロニクス分科会30周年記念特別セッション招待講演] 熱プラズマ流体・材料プロセス研究を主軸として歩み得てきたもの 〇茂田 正哉1 (1.阪大接合研)