14:00 〜 14:15 △ [16p-Z13-3] 凍結洗浄における純水への薬液添加の影響 〇中村 美波1、出村 健介1、中村 聡1、神谷 将也1、服部 圭1,2 (1.芝浦メカトロニクス、2.名古屋大学低温プラズマ科学研究センター)