14:30 〜 14:45 △ [16p-Z26-5] Hf0.5Zr0.5O2強誘電体膜の薄膜化と低温プロセス化の両立の検討 〇田原 建人1、トープラサートポン カシディット1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東大工)