15:00 〜 15:50
冨士 和樹1、岡本 尚樹1、〇齊藤 丈靖1、嶋岡 毅紘2、大曲 新矢2、山田 英明2 (1.阪府大院工、2.産総研)
齊藤 丈靖
発表者・著者、共著者
2021年3月16日(火) 15:00 〜 15:50 P05 (ポスター)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 6 薄膜・表面
- | 6.2 カーボン系薄膜
2021年3月17日(水) 09:00 〜 11:15 Z26 (Z26)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.5 デバイス／配線／集積化技術
11:00 〜 11:15
〇齊藤 丈靖1、林藤 壮史1、岡本 尚樹1、北島 彰2 (1.阪府大院工、2.阪大ナノテク設備拠点)