10:00 〜 10:50 [19a-P04-5] RF低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンのガス流量依存性の計測 〇(M1C)石井 晃一1、鈴木 駿1、小田 昭紀1、渡邉 泰章2、太田 貴之3、上坂 裕之4 (1.千葉工大工、2.イノベーションサイエンス、3.名城大理工、4.岐阜大工)