10:45 〜 11:00 [16a-Z16-7] TMAH 処理を施したGaN UMOSにおけるチャネル特性の面方位依存性 〇平井 悠久1、三浦 喜直1、中島 昭1、原田 信介1、山口 浩1 (1.産総研)