13:30 〜 13:45 [16p-Z29-1] 水晶振動子質量測定によるNb2O5室温ALDの素反応評価 〇(DC)吉田 一樹1,2、齋藤 健太郎1,2、三浦 正範3、鹿又 健作3、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL)