16:00 〜 16:15 [16p-Z26-10] HfxZr1-xO2 薄膜の強誘電性に対するフラッシュランプアニールの効果 〇和泉 賢人1、高橋 響1、河原崎 光2、谷村 英昭2、加藤 慎一2、奈良 安雄1 (1.兵庫県大工、2.SCREENセミコン)