18:45 〜 19:00 [16p-Z12-14] 塩素吸着を用いた窒化ガリウムの原子層エッチングプロセス特性のArイオンエネルギー依存性 〇堤 隆嘉1、長谷川 将希1、中村 昭平1,2、谷出 敦2、近藤 博基1、関根 誠1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大、2.SCREENホールディングス)