2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[16a-P04-1~6] 1.3 新技術・複合新領域

2021年3月16日(火) 10:00 〜 10:50 P04 (ポスター)

10:00 〜 10:50

[16a-P04-3] MOD法により製作したV0.75Ti0.25O2マイクロボロメータ素子の特性評価

〇藤城 雄飛1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大　電気電子、2.高純度化学研)

キーワード：MOD法、V0.75Ti0.25O2薄膜、ボロメータ素子