[16a-Z10-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[16a-Z10-3] 金属積層Siプラズモン導波路における温度上昇の評価

〇太田 那菜¹、宮内 智弘¹、清水 大雅¹ (1.農工大工)

キーワード：光導波路、ヒータ、プラズモン

Si細線光導波路上に金属を製膜すると、細線中の導波モードと表面プラズモンポラリトンが結合したハイブリッドプラズモンモードが励起され、伝搬損失をもたらし、金属内のジュール損失により熱エネルギーに変換される。これは導波路上部を局所的に加熱するヒータに応用可能である。本研究では、金属としてCoを積層したSi細線導波路ヒータを作製し、光を入力したときの金属の抵抗変化を測定し温度上昇を評価したので報告する。