[16p-P05-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P05-3] 炭化水素系高分子焼結体スパッタ膜のガス吸着特性と表面物性

〇須田 順子¹、飯塚 つかさ¹、坂本 直哉¹、杉本 岩雄¹、高橋 和彦² (1.東京工科大、2.同志社大)

キーワード：炭素質薄膜、ガス吸着