[16p-Z26-1~15] CS.5 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

[16p-Z26-12] 【注目講演】強誘電体薄膜における分極反転挙動のナノスケールマッピング

〇平永 良臣¹、三村 和仙²、清水 荘雄²、舟窪 浩²、長 康雄¹ (1.東北大、2.東工大)

キーワード：強誘電体、プローブ顕微鏡、酸化ハフニウム

本講演では，ナノスケール強誘電分極反転挙動のイメージングを可能とする新たな手法である局所C-Vマッピング法を用いた薄膜評価について述べる．